离子渗氮法是由德国人B.Berghaus于1932年发明的。目前，我国在离子渗氮的某些理论和技术方面已处于****水平。该法在0.1-10Torr的含氮气氛中，以炉体为阳极，被处理工件为阴极，在阴阳极间加上数百伏的直流电压，由于辉光放电现象便会产生象霓虹灯一样的柔光覆盖在被处理工件的表面。此时，已离子化了的气体成份被电场加速，撞击被处理工件表面使其加热。同时依靠溅射及离子化作用等进行氮化处理。
    综上所述，离子氮化是在真空炉体内，通过稀薄气体放电，形成由离子、电子和中性粒子所构成的局部电离状态（即等离子体）中进行处理的。
    离子渗氮开始应用于生产实际，至今已经有四十余年，离子渗氮已经成为离子热处理技术中*成熟、*普及、*富有生命力的工艺之一。作为一种全新的渗氮方法，现已广泛应用于汽车、机床、造船、纺织机械、石化机械、精密仪器、挤压成型机、齿轮、驱动轴、蜗轮、蜗杆、机床主轴、套筒、凸轮、瓦楞纸轧辊、丝杠、曲轴、阀、减速机的同步环、液压缸、导电码线筒、精密模具、量刃具等许多领域、其应用范围随着工艺的不断开发将日益扩大。